GB/T 26111-2023《微机电系统（MEMS）技术术语》

Micro-electromechanical system technology—Terms

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

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国家标准《微机电系统（MEMS）技术术语》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位中机生产力促进中心有限公司、西安知微传感技术有限公司、苏州大学、北京大学、无锡华润上华科技有限公司、中国科学院空天信息创新研究院、北京航空航天大学、上海交通大学、天津大学、北京航天控制仪器研究所、西安现代控制技术研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、北京晨晶电子有限公司、天津新智感知科技有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国科学院微电子研究所、广州广电计量检测股份有限公司、南京高华科技股份有限公司、杭州左蓝微电子技术有限公司、广州奥松电子股份有限公司、华东光电集成器件研究所、江苏普诺威电子股份有限公司、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司。

主要起草人顾枫、宋秀敏、李根梓、孙立宁、张大成、夏长奉、夏善红、董全林、张卫平、胡晓东、刘会聪、邢朝洋、刘奎、熊斌、张永斌、张威、崔波、陈得民、王玮冰、明志茂、李晓波、SHUMINZHANG 、张宾、张胜兵、杨飞、高峰。

基础信息

标准号：GB/T 26111-2023发布日期：2023-05-23实施日期：2023-09-01全部代替标准：GB/T 26111-2010标准类别：基础中国标准分类号：L59国际标准分类号：31.080.99 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准修改采用IEC国际标准：IEC 62047-1:2016。采标中文名称:半导体器件微机电器件第1部分：术语和定义。

起草单位

中机生产力促进中心有限公司苏州大学无锡华润上华科技有限公司北京航空航天大学天津大学西安现代控制技术研究所北京晨晶电子有限公司中国电子科技集团公司第十三研究所广州广电计量检测股份有限公司杭州左蓝微电子技术有限公司华东光电集成器件研究所明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司西安知微传感技术有限公司北京大学中国科学院空天信息创新研究院上海交通大学北京航天控制仪器研究所中国科学院上海微系统与信息技术研究所天津新智感知科技有限公司中国科学院微电子研究所南京高华科技股份有限公司广州奥松电子股份有限公司江苏普诺威电子股份有限公司

起草人

顾枫宋秀敏张大成夏长奉张卫平胡晓东刘奎熊斌崔波陈得民李晓波SHUMINZHANG杨飞高峰李根梓孙立宁夏善红董全林刘会聪邢朝洋张永斌张威王玮冰明志茂张宾张胜兵

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